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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:兩通道CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-CVD1200-50-200×200-2TH-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
本CVD系統(tǒng)帶水冷法蘭雙路流量計(jì)并配有雙極旋片泵、水冷機(jī)、數(shù)字真空計(jì)且該CVD系統(tǒng)可抽真空、通氣氛用于各種CVD實(shí)驗(yàn)。
詳情介紹:

本CVD系統(tǒng)帶水冷法蘭雙路流量計(jì)并配有雙極旋片泵、水冷機(jī)、數(shù)字真空計(jì)且該CVD系統(tǒng)可抽真空、通氣氛用于各種CVD實(shí)驗(yàn)。

主要技術(shù)參數(shù):

雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格:

主要技術(shù)參數(shù)

區(qū)

顯示模式

7英寸觸摸屏

真空控制

可通過(guò)參數(shù)設(shè)置,自動(dòng)完成抽真空,恒壓工作

爐管材料

高純石英

爐管尺寸

直徑:50mm,長(zhǎng)度1000mm

加熱溫區(qū)

兩溫區(qū)

溫區(qū)長(zhǎng)度

200mm+200mm

工作溫度

室溫~1100

控溫精度

±1

升溫速率

建議10/min

控溫模式

可編程程序控溫

密封方式

真空法蘭密封

雙通道質(zhì)量流量計(jì)

氣體通道

兩通道

測(cè)量?jī)x器

質(zhì)量流量計(jì)

A路量程

氫氣:0500SCCM

B路量程

氬氣:01000SCCM

連接管道

拋光不銹鋼管

氣體緩沖器

1000ml

工作壓力

3Mpa

工作壓差

0.3MPa

管道接口

6.35mm卡套接頭

真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF25

抽氣速率

24立方米/小時(shí)

極限真空

5.0E-2Pa

電機(jī)功率

1100W

電機(jī)轉(zhuǎn)速

1440轉(zhuǎn)/分鐘

真空計(jì)

傳感器類型

皮拉力

真空量程

1.0E-1Pa1.0E5Pa

安裝方式

豎直放置

工作電壓

DC24V

相關(guān)配件

連接管道

KF25波紋管1米長(zhǎng)

聚四氟管5

石英爐管1

爐管塞子4個(gè)

爐鉤1

防護(hù)手套1

真空法蘭1套(帶密封圈、針閥、氣路接頭)





    

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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