該雙溫區(qū)真空管式爐不僅可以抽真空，也可以通保護(hù)性氣氛。開啟式爐膛結(jié)構(gòu)有利于爐管拆卸和觀察物料裝載，操作簡單。透明石英管腔體可以直觀的看到樣品的燒結(jié)狀態(tài)。本管式爐爐管水平穿過爐膛，加熱元件呈四周均勻分布，溫場均勻，爐管內(nèi)部和爐膛之間的內(nèi)外溫差可控制在3度左右。爐體設(shè)計(jì)有緩沖上蓋支撐結(jié)構(gòu)讓操作時(shí)可**開啟。

該款雙溫區(qū)真空管式爐的組合主要適用于需要控制反應(yīng)濕度的CVD試驗(yàn)和反應(yīng)。

雙溫區(qū)管式爐技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng)目		明細(xì)
雙溫區(qū)管式爐	供電電壓	AC110V;60Hz
	工作溫度	≤1100℃
	加熱速率	建議10℃/min
	熱電偶類型	B型熱電偶
	爐管尺寸	φ80（OD）×φ74（ID）×1000（L）mm
	爐管材料	高純石英
	密封法蘭	帶有1/4英寸的氣體接口和真空接口
	加熱溫區(qū)	200mm+200mm
	溫度控制	1） PID全自動控制加熱速率，冷卻速率以及保溫時(shí)間 2） PID控制超溫保護(hù)和短偶保護(hù) 3） 超溫保護(hù)在報(bào)警功能使該設(shè)備可在無人看管的情況下運(yùn)行 4） 溫度精度在±1℃（即顯示的溫度和實(shí)際溫度差）
	加熱元件	電爐絲
蒸發(fā)器	容量	300mL
	加熱套工作溫度	≤250℃
	功能	有精密可編程溫度控制器控制； 容器上有兩個(gè)SS針閥和一個(gè)壓力表
濕度監(jiān)測器	安裝方式	KF25適配器連接至加工管法蘭
	測量范圍	0-100%RH，1.5%FS精度，或-60°~+60°DP
	測量精度	±0.3°
	使用方法	調(diào)節(jié)蒸發(fā)器水內(nèi)溫度和H2氣體流量以達(dá)到所需濕度水平
三路防腐浮子流量計(jì)	閥門類型	不銹鋼針閥
	管道正常情況	關(guān)閉
	氣體方式	3通道
	連接尺寸	1/4”
	壓力范圍	-0.1~0.15Mpa
	管芯材質(zhì)	304不銹鋼

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