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產(chǎn)品名稱：三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎型）
產(chǎn)品型號：CY-PLZ180-III-DC-Q
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

本型號小型等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學習使用。設備體積小巧造型美觀，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

詳情介紹：

技術參數(shù)：

產(chǎn)品名稱

三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎型）

產(chǎn)品型號

CY-PLZ180-III-DC-Q

樣品臺

尺寸

100mm

到靶面距離

20~35mm高度可調(diào)

等離子濺射靶

數(shù)量

2英寸 x3

冷卻方式

自然冷卻

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 200mm

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質(zhì)

304不銹鋼

抽氣接口

KF25

進氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數(shù)量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

3000V

*大濺射電流

50mA

真空系統(tǒng)

真空泵類型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s（4m³/h）

極限真空度

≥1Pa

真空測量

電阻真空規(guī)

其　　他

供電電源

AC 220V 50Hz

整機功率

1.5kW

整機尺寸

570mm X 450mm X550mm

整機重量

30kg

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產(chǎn)品型號	CY-PLZ180-III-DC-Q
樣品臺	尺寸	100mm
樣品臺	到靶面距離	20~35mm高度可調(diào)
等離子濺射靶	數(shù)量	2英寸 x3
等離子濺射靶	冷卻方式	自然冷卻
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X 200mm
	觀察窗口	全向可視
	腔體材料	高純石英
	開啟方式	頂蓋拆卸式
	上下蓋材質(zhì)	304不銹鋼
	抽氣接口	KF25
	進氣接口	1/4英寸卡套接頭
電源配置	數(shù)量	直流電源x1
	輸出功率	*大150W
	濺射電源	3000V
	*大濺射電流	50mA
真空系統(tǒng)	真空泵類型	雙極旋片真空泵
	抽氣接口	KF25
	排氣接口	KF16
	抽氣速率	1.1L/s（4m³/h）
	極限真空度	≥1Pa
	真空測量	電阻真空規(guī)
其　　他	供電電源	AC 220V 50Hz
	整機功率	1.5kW
	整機尺寸	570mm X 450mm X550mm
	整機重量	30kg

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產(chǎn)品名稱：三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎型）