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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:行星式單靶磁控鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-MSZ180-50X-I-DC-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
本設(shè)備為桌面型行星式單靶磁控鍍膜儀,腔體下半部為不銹鋼機構(gòu),上部為高純石英,兼顧了真空性能和容納復(fù)雜樣品臺的功能型。設(shè)備外形為桌面級別,大大減少了安裝場地需求,用于金屬及其他導(dǎo)電材料的濺射,非常適合用于各類鍍膜試驗
詳情介紹:

本設(shè)備為桌面型行星式單靶磁控鍍膜儀,腔體下半部為不銹鋼機構(gòu),上部為高純石英,兼顧了真空性能和容納復(fù)雜樣品臺的功能型。設(shè)備外形為桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設(shè)備配有一個直流電源,可用于金屬及其他導(dǎo)電材料的濺射。設(shè)備真空系統(tǒng)采用渦輪分子泵組,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優(yōu)異。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗。

行星式單靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

行星式單靶磁控鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-MSZ180-50X-I-DC-Q

樣品臺

外形尺寸

φ50mm

加熱溫度

500

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X100mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

前級泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測量

復(fù)合真空計,量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統(tǒng)真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s 

電源配置

電源數(shù)量

直流電源一套

輸出功率

500W

其他參數(shù)

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

2kW

整機尺寸

550mm X 350mm X400mm


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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